FPDスキャナー

FX-103S

第10.5世代プレートサイズ対応、高精細大型パネルの生産に最適なFPD露光装置
FX-103S は、中小型高精細パネルの生産に適したFX-67S2と、テレビ用パネルの生産に適したFX-86SH2の技術を融合し、高精細大型パネルの生産に対応。従来の当社第10世代装置に比べて、高タクトタイムを達成しました。
主な特長
  • マルチレンズシステムを搭載
  • 高タクトタイム
  • 高い重ね合わせ精度
  • 高スループット

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株式会社ニコン
精機事業本部 FPD装置事業部