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株式会社ニコン｜Japan
FPDスキャナー
FX-68S
第6世代プレートサイズ対応、高精細中小型パネルの生産に最適なFPD露光装置
第6世代プレートによる最先端高精細中小型パネルの生産に対応。スキャナー方式により、生産性向上と高解像度、高い重ね合わせ精度を同時に実現しました。
主な特長
- マルチレンズシステムを搭載
- 高い重ね合わせ精度
- 高スループット
- 露光性能の向上
お問い合わせ
株式会社ニコン
精機事業本部 FPD装置事業部
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