FPDスキャナー

FX-88SLD

第8世代プレートサイズ対応
2つの波長のUV-LED光源搭載による高生産性を実現した次世代FPD露光装置
i線(365nm)およびh線(405nm)に相当する2波長のUV-LED光源を搭載することで、従来機FX-88Sと比較して照度を50%以上向上。高照度が求められる製造工程において、高い生産性を発揮します。
主な特長
  • マルチレンズシステムを搭載
  • 2波長のUV-LED光源を搭載
  • 高スループット
  • 多様なパネルの量産にフレキシブルに対応
  • 安定した露光性能

お問い合わせ

株式会社ニコン
精機事業本部 FPD装置事業部