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第8世代プレートサイズ対応
2つの波長のUV-LED光源搭載による高生産性を実現した次世代FPD露光装置
i線(365nm)およびh線(405nm)に相当する2波長のUV-LED光源を搭載することで、従来機FX-88Sと比較して照度を50%以上向上。高照度が求められる製造工程において、高い生産性を発揮します。
主な特長
マルチレンズシステムを搭載
2波長のUV-LED光源を搭載
高スループット
多様なパネルの量産にフレキシブルに対応
安定した露光性能
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