FPDスキャナー

FX-88SLD

特長

特長 1

マルチレンズシステムを搭載

複数の投影レンズで構成されたマルチレンズシステムを搭載。広い露光領域を確保すると同時に、高解像度を達成。

特長 2

2波長のUV-LED光源を搭載

i線（365nm）およびh線（405nm）に相当する2波長のUV-LED光源を搭載することで、従来機FX-88Sと比較して照度を50%以上向上。高照度が求められる製造工程において、安定した露光性能と高い生産性を発揮します。

特長 3

高スループット

FX-88Sからステージの駆動速度を14%向上。プレートの搬送シーケンスを最適化することで、タクトタイムを17%改善しました。

特長 4

多様なパネルの量産にフレキシブルに対応

ハイエンドノートパソコンやゲーミングモニター、大型テレビなど、高付加価値なプレミアムディスプレイ向けパネルの量産に最適。

特長 5

安定した露光性能

FX-88Sで実績のある高解像なレンズと高精度なステージ技術を継承し、稼働中も安定して高い露光性能を発揮。

株式会社ニコン
精機事業本部 FPD装置事業部