FX-103SH

FX-103SHは、中小型高精細パネルの生産に適したFX-67S2と、テレビ用パネルの生産に適したFX-86SH2の技術を融合し、高精細大型パネルの生産に対応。従来の当社第10世代装置に比べて、高タクトタイムを達成するとともに、2.2 µmの高解像度も実現しています。