FX-6AS

第6世代プレートによる最先端高精細中小型パネルの生産に対応。新開発の投影レンズを搭載し、位相シフトマスク使用時1.0 μm という最高水準の高解像度と生産性向上、高い重ね合わせ精度を同時に実現しました。