FPDスキャナー

FX-88SL

第8世代プレートサイズ対応
UV-LED光源搭載による高解像度・高スループット・環境負荷低減を実現した次世代FPD露光装置

高精細ITパネルの生産現場で広く採用されているFX-88Sに、最新のUV-LED光源を搭載。従来機種と比較してタクトタイムを17%短縮し、消費電力も削減しました。生産性向上と環境負荷低減を両立しています。

主な特長

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株式会社ニコン
精機事業本部 FPD装置事業部