FPDスキャナー

FX-88SL

特長

特長 1

マルチレンズシステムを搭載

複数の投影レンズで構成されたマルチレンズシステムを搭載。広い露光領域を確保すると同時に、高解像度を達成。

特長 2

UV-LED光源を搭載

新たに搭載されたUV-LED光源は、高照度と低消費電力の両立を実現。従来機種FX-88Sと比較して照度が25%向上しながら、消費電力の削減にも成功しました。さらに、光源に使用する部品のリサイクル体制を構築し、持続可能な社会の実現に向けた取り組みを強化しています。

特長 3

高スループット

FX-88Sからステージの駆動速度を14%向上。プレートの搬送シーケンスを最適化することで、タクトタイムを17%改善しました。

特長 4

多様なパネルの量産にフレキシブルに対応

ハイエンドノートパソコンやゲーミングモニター、大型テレビなど、高付加価値なプレミアムディスプレイ向けパネルの量産に最適。

特長 5

安定した露光性能

FX-88Sで実績のある高解像なレンズと高精度なステージ技術を継承し、稼働中も安定して高い露光性能を発揮。

株式会社ニコン
精機事業本部 FPD装置事業部