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FPDスキャナー
FX-88SL
仕様
仕様一覧
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| 型式 | FX-88SL | |
|---|---|---|
| 解像度（L/S） | 1.5 µm | |
| 波長 | i-line相当 | |
| 投影倍率 | 1:1 | |
| 重ね合わせ精度 | ≦ ±0.3 µm | |
| プレートサイズ | 2,290 mm × 2,620 mm | |
| タクトタイム |
39 s/plate Conditions: 2,290 mm × 2,620 mm, 4 scans, i-line, 30 mJ/cm2 |
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