法人のお客様
株式会社ニコン｜Japan
FPDスキャナー
FX-68SH
第6世代プレートサイズ対応、高精細中小型パネルの生産に最適なFPD露光装置。1.2 µmの高解像度を実現
第6世代プレートによる最先端高精細中小型パネルの生産に対応。スキャナー方式により、生産性向上と高解像度、高い重ね合わせ精度を同時に実現するとともに、高い生産性と1.2 µm※ の高解像度も実現しています。
位相シフトマスク使用時
主な特長
- マルチレンズシステムを搭載
- 高い重ね合わせ精度
- 高スループット
- 露光性能の向上
- 高解像度
お問い合わせ
株式会社ニコン
精機事業本部 FPD装置事業部
関連業界
