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株式会社ニコン｜Japan
FPDスキャナー
FX-88S2
第8世代プレートサイズ対応、1.5 µmの高解像度に加え、生産性向上も実現したFPD露光装置
高精細ITパネルの生産現場で広く採用されているFX-88Sと比較してタクトタイムを17%短縮。ハイエンドITパネルから大型テレビまで多様なパネルの生産に幅広く対応します。
主な特長
- マルチレンズシステムを搭載
- 高スループット
- 高い重ね合わせ精度
- 安定した露光性能
- 多様なパネルの量産にフレキシブルに対応
お問い合わせ
株式会社ニコン
精機事業本部 FPD装置事業部
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