FPDスキャナー

FX-88S

第8世代プレートサイズ対応、1.5 µmの高解像度を達成したFPD露光装置

高精細な中小型パネルの生産に適したFX-68SH/68Sと、大型テレビ用パネルの生産に適したFX-103SH/103Sで培った技術を応用して最適化。高解像度に加え、高い重ね合わせ精度と生産性を実現し、多様なパネルの生産に幅広く対応します。

主な特長

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株式会社ニコン
精機事業本部 FPD装置事業部