FPDスキャナー

FX-88S

特長

特長 1

マルチレンズシステムを搭載

複数の投影レンズで構成されたマルチレンズシステムを搭載。広い露光領域を確保すると同時に、高解像度を達成。

特長 2

高解像度

FX-68SH/68Sで高解像での量産実績のある、i 線の投影レンズを搭載。第8世代プレートに対し、1.5 µm（L/S）の高解像度露光を実現するとともに、高精度フォーカス補正システムにより、第8世代プレート全面で優れた線幅均一性を達成。

特長 3

高い重ね合わせ精度

高解像投影レンズとFX-103SH/103Sに搭載した大型ステージ制御技術の採用により、±0.4 µmの高い重ね合わせ精度を実現。

特長 4

高スループット

4スキャンで、第8世代プレート全面の露光が可能。従来機種と比較して、ステージの駆動速度を30%以上改善し、タクトタイムを大幅に向上。

特長 5

多様なパネルの量産にフレキシブルに対応

スマートデバイスやハイエンドモニター、大型テレビなどの、高付加価値なプレミアムディスプレイ向けパネルの量産に最適。

株式会社ニコン
精機事業本部 FPD装置事業部