FPDスキャナー

FX-88S2

特長

特長 1

マルチレンズシステムを搭載

複数の投影レンズで構成されたマルチレンズシステムを搭載。広い露光領域を確保すると同時に、高解像度を達成。

特長 2

高スループット

FX-88Sからステージの駆動速度を14%向上。プレートの搬送シーケンスを最適化することで、タクトタイムを17%改善しました。

特長 3

高い重ね合わせ精度

高解像投影レンズとFX-103SH/103Sに搭載した大型ステージ制御技術の採用により、±0.3 µmの高い重ね合わせ精度を実現。

特長 4

安定した露光性能

FX-88Sで実績のある高解像なレンズと高精度なステージ技術を継承し、稼働中も安定して高い露光性能を発揮。

特長 5

多様なパネルの量産にフレキシブルに対応

ハイエンドノートパソコンやゲーミングモニター、大型テレビなど、高付加価値なプレミアムディスプレイ向けパネルの量産に最適。

株式会社ニコン
精機事業本部 FPD装置事業部