法人のお客様
株式会社ニコン｜Japan
法人のお客様
FPDスキャナー
FX-68SH
仕様
仕様一覧
横にスクロールしてご覧ください。
| 型式 | FX-68SH | |
|---|---|---|
| 解像度（L/S） | 1.2 µm ※ 位相シフトマスク使用時 | |
| 波長 | i-line | |
| 投影倍率 | 1:1 | |
| 重ね合わせ精度 | ≦ ±0.27 µm | |
| プレートサイズ | 1,500 mm × 1,850 mm | |
| タクトタイム |
42 s/plate Conditions: 1,500 mm × 1,850 mm, 4 scans, i-line, 30 mJ/cm2 |
|
お問い合わせ
株式会社ニコン
精機事業本部 FPD装置事業部
関連業界
