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FPDスキャナー
FX-6AS
仕様
仕様一覧
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| 型式 | FX-6AS | |
|---|---|---|
| 解像度（L/S） | 1.0 µm ※ 位相シフトマスク使用時 | |
| 波長 | i-line | |
| 投影倍率 | 1:1 | |
| 重ね合わせ精度 | ≦ ±0.23 µm | |
| プレートサイズ | 1,500 mm × 1,850 mm | |
| タクトタイム |
42 s/plate Conditions: 1,500 mm × 1,850 mm, 4 scans, i-line, 30 mJ/cm2 |
|
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精機事業本部 FPD装置事業部
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