FX-103SH

複数の投影レンズで構成されたマルチレンズシステムを搭載。広い露光領域を確保すると同時に、高解像度を達成。

従来機の露光シーケンス、キャリブレーションシーケンスを刷新。さらに高速かつ高精度な露光を実現。

計測精度向上のため、従来機の位置計測システムを新たに設計し、±0.5 µmの高い重ね合わせ精度を実現。

スループットを大幅に向上。65インチパネルを生産対象とした場合、従来機に対して77 %増の毎時480枚を、75インチパネルにおいては、毎時322枚をそれぞれ達成。

FX-103SHは、FX-86SH2で開発した独自の解像度向上技術を適用した照明系とマルチレンズシステムを、第10.5世代向けに新たに最適化。マスクたわみやプレート平面度などの誤差を最適に補正する新たなオートフォーカスシステムも搭載。2.2 µm（L/S）の高解像度を達成しながら、広い実用焦点深度も同時に確保。