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株式会社ニコン｜Japan
FPDスキャナー
FX-68S
特長
特長 1
マルチレンズシステムを搭載
複数の投影レンズで構成されたマルチレンズシステムを搭載。広い露光領域を確保すると同時に、高解像度を達成。
特長 2
高い重ね合わせ精度
位置計測の干渉計システムを新規設計し、計測精度と位置制御性能を上げることにより高い重ね合わせ精度を実現。
特長 3
高スループット
新開発の投影レンズとステージにより、第6世代プレートで4スキャンを可能とし、高スループット（毎時85プレート）を実現。
特長 4
露光性能の向上
独自技術により開発したさまざまなキャリブレーション機能を適用し、総合的により安定した露光性能を実現。
お問い合わせ
株式会社ニコン
精機事業本部 FPD装置事業部
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