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株式会社ニコン｜Japan
FPDスキャナー
FX-103S
特長
特長 1
マルチレンズシステムを搭載
複数の投影レンズで構成されたマルチレンズシステムを搭載。広い露光領域を確保すると同時に、高解像度を達成。
特長 2
高タクトタイム
従来機の露光シーケンス、キャリブレーションシーケンスを刷新。さらに高速かつ高精度な露光を実現。
特長 3
高い重ね合わせ精度
計測精度向上のため、従来機の位置計測システムを新たに設計し、±0.5 µmの高い重ね合わせ精度を実現。
特長 4
高スループット
スループットを大幅に向上。65インチパネルを生産対象とした場合、従来機に対して77 %増の毎時480枚を、75インチパネルにおいては、毎時322枚をそれぞれ達成。
お問い合わせ
株式会社ニコン
精機事業本部 FPD装置事業部
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