ラインナップ一覧 | FPD露光装置

FX-103SH

第10.5世代プレートサイズ対応、高精細大型パネルの生産に最適なFPD露光装置。2.2 µmの高解像度も実現

プレートサイズ：2,940 mm × 3,370 mm

解像度（L/S）：2.2 µm (g+h+i-line)

FX-103S

第10.5世代プレートサイズ対応、高精細大型パネルの生産に最適なFPD露光装置

プレートサイズ：2,940 mm × 3,370 mm

解像度（L/S）：3.0 µm (g+h+i-line)

FX-88S

第8世代プレートサイズ対応、1.5 µmの高解像度を達成したFPD露光装置

プレートサイズ：2,290 mm × 2,620 mm

解像度（L/S）：1.5 µm (i-line)

FX-6AS

第6世代プレートサイズ対応、最高水準の高解像度1.0 µmを実現したFPD露光装置

プレートサイズ：1,500 mm × 1,850 mm

解像度（L/S）：1.0 µm (i-line)

FX-68SH

第6世代プレートサイズ対応、高精細中小型パネルの生産に最適なFPD露光装置。1.2 µmの高解像度を実現

プレートサイズ：1,500 mm × 1,850 mm

解像度（L/S）：1.2 µm (i-line)

FX-68S

第6世代プレートサイズ対応、高精細中小型パネルの生産に最適なFPD露光装置

プレートサイズ：1,500 mm × 1,850 mm

解像度（L/S）：1.5 µm (i-line)

FX-101S販売終了品

プレートサイズ：2,880 mm × 3,130 mm

解像度（L/S）：3.5 µm (g+h+i-line)

FX-86SH2販売終了品

プレートサイズ：2,200 mm × 2,500 mm

解像度（L/S）：2.2 µm (g+h+i-line)

FX-86S2販売終了品

プレートサイズ：2,200 mm × 2,500 mm

解像度（L/S）：3.0 µm (g+h+i-line)

FX-76S販売終了品

プレートサイズ：1,950 mm × 2,250 mm

解像度（L/S）：3.0 µm (g+h+i-line)

FX-86S販売終了品

プレートサイズ：2,200 mm × 2,500 mm

解像度（L/S）：3.0 µm (g+h+i-line)

FX-75S販売終了品

プレートサイズ：1,950 mm × 2,250 mm

解像度（L/S）：3.5 µm (g+h+i-line)

FX-85S販売終了品

プレートサイズ：2,200 mm × 2,500 mm

解像度（L/S）：3.5 µm (g+h+i-line)

FX-73S販売終了品

プレートサイズ：1,950 mm × 2,250 mm

解像度（L/S）：3.5 µm (g+h+i-line)

FX-83S販売終了品

プレートサイズ：2,200 mm × 2,500 mm

解像度（L/S）：3.5 µm (g+h+i-line)

FX-71S販売終了品

プレートサイズ：1,950 mm × 2,250 mm

解像度（L/S）：3.5 µm (g+h+i-line)

FX-81S販売終了品

プレートサイズ：2,200 mm × 2,500 mm

解像度（L/S）：3.5 µm (g+h+i-line)

FX-67S2販売終了品

プレートサイズ：1,500 mm × 1,850 mm

解像度（L/S）：2.0 µm (g+h+i-line)

FX-67S販売終了品

プレートサイズ：1,500 mm × 1,850 mm

解像度（L/S）：2.0 µm (g+h+i-line)

FX-66S2販売終了品

プレートサイズ：1,500 mm × 1,850 mm

解像度（L/S）：3.0 µm (g+h+i-line)

FX-66S販売終了品

プレートサイズ：1,500 mm × 1,850 mm

解像度（L/S）：3.0 µm (g+h+i-line)

FX-55S販売終了品

プレートサイズ：1,300 mm × 1,300 mm

解像度（L/S）：3.5 µm (g+h+i-line)

FX-65S販売終了品

プレートサイズ：1,500 mm × 1,850 mm

解像度（L/S）：3.5 µm (g+h+i-line)

FX-53S販売終了品

プレートサイズ：1,300 mm × 1,300 mm

解像度（L/S）：3.5 µm (g+h+i-line)

FX-63S販売終了品

プレートサイズ：1,500 mm × 1,850 mm

解像度（L/S）：3.5 µm (g+h+i-line)

FX-21S販売終了品

プレートサイズ：800 mm × 950 mm

解像度（L/S）：3.0 µm (g+h+i-line)

FX-22S販売終了品

プレートサイズ：920 mm × 920 mm

解像度（L/S）：3.0 µm (g+h+i-line)

FX-903N販売終了品

プレートサイズ：730 mm × 920 mm

解像度（L/S）：1.5 µm (i-line)

FX-803M販売終了品

プレートサイズ：730 mm × 920 mm

解像度（L/S）：3.0 µm (g+h+i-line)

FX-801M販売終了品

プレートサイズ：730 mm × 920 mm

解像度（L/S）：3.0 µm (g+h-line)

FX-702J販売終了品

プレートサイズ：600 mm × 720 mm

解像度（L/S）：1.5 µm (i-line)

FX-701M販売終了品

プレートサイズ：600 mm × 720 mm

解像度（L/S）：3.0 µm (g+h-line)

FX-601F販売終了品

プレートサイズ：550 mm × 650 mm

解像度（L/S）：3.0 µm (g+h-line)

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