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FPDスキャナー
FX-21S
販売終了品仕様
仕様一覧
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| 型式 | FX-21S | |
|---|---|---|
| 解像度（L/S） | 3.0 µm | |
| 波長 | g+h+i-line | |
| 投影倍率 | 1:1 | |
| 露光範囲 | 400 × 700 mm | |
| 重ね合わせ精度 | ≦ 0.6 µm (3σ) | |
| プレートサイズ | 800 mm × 950 mm | |
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株式会社ニコン
精機事業本部 FPD装置事業部
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