FPDスキャナー

FX-66S

販売終了品

仕様

仕様一覧

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型式			FX-66S
解像度（L/S）			3.0 µm
波長			g+h+i-line
投影倍率			1:1
重ね合わせ精度			≦ ±0.6 µm
プレートサイズ			1,500 mm × 1,850 mm
タクトタイム			55 s/plate Conditions: 1,500 mm × 1,850 mm, 4 scans, g+h+i-line, 30 mJ/cm²

株式会社ニコン
精機事業本部 FPD装置事業部