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株式会社ニコン｜Japan
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FPD露光装置
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プレートサイズ
解像度（L/S）
製品カテゴリー
販売ステータス
FX-103SH
第10.5世代プレートサイズ対応、高精細大型パネルの生産に最適なFPD露光装置。2.2 µmの高解像度も実現
プレートサイズ：2,940 mm × 3,370 mm
解像度（L/S）：2.2 µm (g+h+i-line)
FX-103S
第10.5世代プレートサイズ対応、高精細大型パネルの生産に最適なFPD露光装置
プレートサイズ：2,940 mm × 3,370 mm
解像度（L/S）：3.0 µm (g+h+i-line)
FX-88SLD
第8世代プレートサイズ対応
2つの波長のUV-LED光源搭載による高生産性を実現した次世代FPD露光装置
プレートサイズ：2,290 mm × 2,620 mm
解像度（L/S）：2.5 µm（i-line+h-line相当）
FX-88SL
第8世代プレートサイズ対応
UV-LED光源搭載による高解像度・高スループット・環境負荷低減を実現した次世代FPD露光装置
プレートサイズ：2,290 mm × 2,620 mm
解像度（L/S）：1.5 μm (i-line相当)
FX-6AS
第6世代プレートサイズ対応、最高水準の高解像度1.0 µmを実現したFPD露光装置
プレートサイズ：1,500 mm × 1,850 mm
解像度（L/S）：1.0 µm (i-line)
FX-68SH
第6世代プレートサイズ対応、高精細中小型パネルの生産に最適なFPD露光装置。1.2 µmの高解像度を実現
プレートサイズ：1,500 mm × 1,850 mm
解像度（L/S）：1.2 µm (i-line)
FX-101S販売終了品
プレートサイズ：2,880 mm × 3,130 mm
解像度（L/S）：3.5 µm (g+h+i-line)
FX-86SH2販売終了品
プレートサイズ：2,200 mm × 2,500 mm
解像度（L/S）：2.2 µm (g+h+i-line)
FX-86S2販売終了品
プレートサイズ：2,200 mm × 2,500 mm
解像度（L/S）：3.0 µm (g+h+i-line)
FX-76S販売終了品
プレートサイズ：1,950 mm × 2,250 mm
解像度（L/S）：3.0 µm (g+h+i-line)
FX-86S販売終了品
プレートサイズ：2,200 mm × 2,500 mm
解像度（L/S）：3.0 µm (g+h+i-line)
FX-75S販売終了品
プレートサイズ：1,950 mm × 2,250 mm
解像度（L/S）：3.5 µm (g+h+i-line)
FX-85S販売終了品
プレートサイズ：2,200 mm × 2,500 mm
解像度（L/S）：3.5 µm (g+h+i-line)
FX-73S販売終了品
プレートサイズ：1,950 mm × 2,250 mm
解像度（L/S）：3.5 µm (g+h+i-line)
FX-83S販売終了品
プレートサイズ：2,200 mm × 2,500 mm
解像度（L/S）：3.5 µm (g+h+i-line)
FX-71S販売終了品
プレートサイズ：1,950 mm × 2,250 mm
解像度（L/S）：3.5 µm (g+h+i-line)
FX-81S販売終了品
プレートサイズ：2,200 mm × 2,500 mm
解像度（L/S）：3.5 µm (g+h+i-line)
FX-67S2販売終了品
プレートサイズ：1,500 mm × 1,850 mm
解像度（L/S）：2.0 µm (g+h+i-line)
FX-67S販売終了品
プレートサイズ：1,500 mm × 1,850 mm
解像度（L/S）：2.0 µm (g+h+i-line)
FX-66S2販売終了品
プレートサイズ：1,500 mm × 1,850 mm
解像度（L/S）：3.0 µm (g+h+i-line)
FX-66S販売終了品
プレートサイズ：1,500 mm × 1,850 mm
解像度（L/S）：3.0 µm (g+h+i-line)
FX-55S販売終了品
プレートサイズ：1,300 mm × 1,300 mm
解像度（L/S）：3.5 µm (g+h+i-line)
FX-65S販売終了品
プレートサイズ：1,500 mm × 1,850 mm
解像度（L/S）：3.5 µm (g+h+i-line)
FX-53S販売終了品
プレートサイズ：1,300 mm × 1,300 mm
解像度（L/S）：3.5 µm (g+h+i-line)
FX-63S販売終了品
プレートサイズ：1,500 mm × 1,850 mm
解像度（L/S）：3.5 µm (g+h+i-line)
FX-21S販売終了品
プレートサイズ：800 mm × 950 mm
解像度（L/S）：3.0 µm (g+h+i-line)
FX-22S販売終了品
プレートサイズ：920 mm × 920 mm
解像度（L/S）：3.0 µm (g+h+i-line)
FX-903N販売終了品
プレートサイズ：730 mm × 920 mm
解像度（L/S）：1.5 µm (i-line)
FX-803M販売終了品
プレートサイズ：730 mm × 920 mm
解像度（L/S）：3.0 µm (g+h+i-line)
FX-801M販売終了品
プレートサイズ：730 mm × 920 mm
解像度（L/S）：3.0 µm (g+h-line)
FX-702J販売終了品
プレートサイズ：600 mm × 720 mm
解像度（L/S）：1.5 µm (i-line)
FX-701M販売終了品
プレートサイズ：600 mm × 720 mm
解像度（L/S）：3.0 µm (g+h-line)
FX-601F販売終了品
プレートサイズ：550 mm × 650 mm
解像度（L/S）：3.0 µm (g+h-line)
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株式会社ニコン
精機事業本部 FPD装置事業部