ニコン ArF液浸スキャナー「NSR-S621D」を発売

ストリームラインプラットフォーム採用の超高精度・超高スループット最新型液浸露光装

2012年2月1日PRESS RELEASE/報道資料

株式会社ニコン（社長：木村眞琴、東京都千代田区）は、最新型ArF液浸スキャナー「NSR-S621D」の販売を2012年1月から開始しました。この新型露光機は、既に定評のあるNSR-S620Dの精度や生産性をさらに向上させ、22ナノメートルプロセス量産用（ダブルパターニング適応^※1）に開発された装置であり、今後の主力商品として拡販に努めます。

※1ダブルパターニング： 1つの回路パターンを、現行の液浸露光機で転写できる2つの密集度の低いパターンに分割露光し、この2つのパターンを組み合わせて、最終的に密集度を高めることを可能とする手法。

概要

商品名	ArF液浸スキャナー「NSR-S621D」
販売開始時期	2012年1月より

開発の背景

IT革命の根幹を担う超LSIの高集積化・微細化が進み、半導体業界では20ナノメートル世代プロセスのデバイス開発・生産に移行しています。リソグラフィ分野においては、引き続き液浸露光装置によるダブルパターニング技術が有力とされており、重ね合わせ精度とスループットの大幅な向上が求められます。
NSR-S621Dは、NSR-S620D^※2で既に定評のあるストリームラインプラットォーム（Streamlign Platform）を採用しつつ、ハード及びソフト両面からさらなる改良を加えることにより、重ね合わせ精度2ナノメートル以下、スループット毎時200枚以上、という極めて高い精度と生産性を実現し、お客様の生産ラインにおいて最適かつ効率的なソリューションを提供します。

※2参考：従来機NSR-S620Dの重ね合わせ精度は3ナノメートル以下、スループットは毎時180枚以上。

ストリームラインプラットフォーム（Streamlign Platform）の主な特長

1. 重ね合わせ精度の大幅な向上を実現する新干渉計システム：バーズアイ・コントロール（Bird's Eye Control）

エンコーダを利用し、空気揺らぎの影響を受けずにステージの位置を計測し、従来の干渉計計測とのハイブリッドなシステムを構成。重ね合わせ精度を大きく向上しました。

2. スループットの大幅な向上を実現する新計測技術：ストリームアライメント（Stream Alignment）

FIAの5眼化^※3により、短時間でのアライメント計測を可能にしました。5眼化の効果により、全ショットに近い多点計測時でもスループット低下を最小限に抑えます。

※3FIAの5眼化：アライメント顕微鏡を従来の１眼タイプから5眼化（5連装タイプ）にしたこと。

3. メンテナンス性向上のための新モジュール構造：モジュラースクエアード・ストラクチャー（Modular² Structure）

階層的なモジュール化を実現する事により、お客様先での立ち上げ時間を短縮し、さらに部品交換も平易化しました。そのため、メンテナンス性が大幅に向上しました。

「NSR-S621D」の主な性能

解像度	38 nm以下
NA（開口数）	1.35
光源	ArFエキシマレーザー（波長: 193 nm）
縮小倍率	¼倍
最大露光領域	26 x 33 mm
重ね合わせ精度（M + 3 σ）	2 nm以下
スループット（300mmウェハ毎時）125 shots	200枚以上

概要