CNC画像測定システム「NEXIV VMZ-H3030」を発売

ニコンNEXIV（ネクシブ）シリーズの中で最高精度の測定を実現

2018年8月21日PRESS RELEASE/報道資料

株式会社ニコン（社長：牛田一雄、東京都港区）の子会社、株式会社ニコンインステック（社長：木村俊一、東京都港区）は、半導体パッケージや電子部品、機械部品など、精密な被検物を対象としたCNC画像測定システム「NEXIV VMZ-H3030」を発売します。

発売概要

商品名	CNC画像測定システム「NEXIV VMZ-H3030」
価格（税別）	2,200万円～（価格は仕様により異なります）
発売時期	2018年10月1日予定

開発の背景

CNC画像測定システム「NEXIVシリーズ」は、ニコン独自の光学技術と画像処理技術を用いて、各種精密機器や電子部品などの寸法を自動で測定する装置です。取得した画像を解析し、エッジを高速で正確に検出することにより、複雑な形状の被検物も素早く測定することができます。

今回発売するCNC画像測定システム「NEXIV VMZ-H3030」は、ご好評いただいている「NEXIV VMZ-Rシリーズ」の基本性能を踏襲し、「NEXIVシリーズ」の中で最高精度の測定を実現したモデルです。厳密な品質管理が要求される各種測定用途に、幅広く対応いたします。

主な特長

1. 高精度・高速な測定

高精度リニアエンコーダと精密動作ステージにより、高い測定精度を発揮します。また、画像転送速度（フレームレート：30fps）が速く、光量調整時間も短いため、短時間での測定を可能にします。

2. 多様な被検物への対応

高性能TTL^※レーザーオートフォーカスにより、0.1mmレベルの透明サンプルの厚みも検出可能です。また、リング照明の角度調整機構により、複雑な形状をしたエッジの検出技術も向上。機械部品、モールド部品から高密度プリント基板、および半導体の300mmウェハまで、多種多様な測定ニーズに応えます。

※TTL：Through The Lensの略で、レンズを通して得た光量を測定する技術。

3. 高い操作性と充実したソフトウェア

ティーチングファイル作成時の操作手順が少なく、「画面のカスタマイズ」や「オフラインティーチング」などの充実した機能により、寸法測定を快適に行えます。また、「NEXIV VMZ-Rシリーズ」で高い評価をいただいている各種ソフトウェアに対応し、画像の合成・解析や検査成績書の作成など、用途に合わせた機能の追加が可能です。

主な仕様

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ストローク（X x Y x Z）	300 x 300 x 150 mm
測定精度	E_UX,_MPE,E_UY,_MPE：0.6+2L/1000 μm E_UXY,_MPE：0.9+3L/1000 μm E_UZ,_MPE：0.9+L/150 μm
オートフォーカス	TTLレーザーAF、イメージAF
照明	透過、垂直落射：白色LED 8分割リング照明：白色LED（照明入射角度：3段階）
カメラ	白黒1/3型CCD、カラー1/3型CCD ※カラーCCDカメラはタイプ1、2、3のみ対応
光学ズームタイプ（倍率・視野）	タイプ1：（0.5～7.5x・9.33x7.01～0.622x0.467 mm）タイプ2：（1～15x・4.67x3.5～0.311x0.233 mm）タイプ3：（2～30x・2.33x1.75～0.155x0.117 mm）タイプ4：（4～60x・1.165x0.875～0.078x0.058 mm）タイプTZ：（1～120x・4.67x3.5～0.039x0.029 mm）
被検物最大質量（重さ）	30 kg（精度保証値：10 kg）
装置寸法（W x D x H）	1000 x 1125 x 1750 mm
装置質量（重さ）	約500 kg
供給電源	AC100-240V±10%、50/60Hz
消費電流	5A-2.5A