露光装置技術

私たち栃木ニコンプレシジョンは、i線露光装置の設計・製造・据付・納入及びお客様対応まで一貫して担当している他、最先端のエキシマレーザー露光装置の心臓部である投影レンズの製造も担っています。社会の発展に欠かせなくなった半導体。その半導体のキーテクノロジーは、私たちの露光装置なのです。