半導体露光装置のリユースで、廃棄物を削減

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製品・材料を再利用する。新たに投じる資源をできるだけ減らす。そうした「資源循環型社会の実現」に向けた活動をニコンは進めています。スマートフォン、家電、自動車など、さまざまな製品に欠かせない半導体の進化を支える半導体露光装置におけるリユース、リデュースもその一つです。

「使って捨てる」から「めぐらせる」へ

半導体露光装置を再販、レンズ再生も

半導体露光装置におけるリユース・リデュースは、ニコンが2000年より行っている活動です。
半導体を製造するのに欠かせない半導体露光装置。ニコンは、お客さまが使わなくなったニコン製の露光装置を買い取り、内部をリフレッシュして再販売するリユース活動をいちはやく事業化しました。2023年3月までに449台を再販売し、約4,100トンの廃棄物削減を実現。半導体製品の進歩にともない露光装置が大型化しているため、リユースによる廃棄物削減の効果も大きくなっています。

複数台の露光装置から1台、レンズのみ交換、ニコンの工夫

リユース・リデュースの取り組みには、さまざまなニコンの特長的な工夫が見られます。
露光装置は、ガラス部材から機械、電気部材、露光光源、空調機まで、いくつものユニットでなりたっていますが、その一部のユニットだけが劣化して動かなくなることも。そこで、使用しなくなった露光装置を買い取り、複数の露光装置からまだ使えるユニットを集め、1台に作り直す、という取り組みをしています。余ったユニットについても、部品を取り出し、交換用に役立てます。

そして、お客さまの工場にある古くなった露光装置の投影レンズを交換し、使い続けられるように再生する取り組みもしています。従来は、露光装置全体をニコンの工場まで運び込まなければなりませんでしたが、お客さまのもとには投影レンズのみを輸送し、その場で交換するシンプルな仕組みに変更。これにより、輸送にかかる燃料を減らし、CO₂排出量を削減することができました。
こうした取り組みを、ニコンと、露光装置の製造に携わるあらゆるグループ会社が、一丸となって進めています。

また、ソフトウェアをアップデートすることで、露光装置自体の仕様変更をすることなく、生産性を約8％アップさせることに成功しました。ハードウェア、つまり露光装置自体の仕様を変更するということは、それに伴う部品調達から製造にかかわる工程で、CO₂を排出し環境に負荷をかけることになってしまいます。ハードウェアではなく、ソフトウェアをアップデートすることは、結果として、露光装置がお客さま先で長く活躍することを可能にしています。

• *半導体の製造では、複雑で微細な電子回路のパターンをガラス板に描いたフォトマスクを、極めて高性能なレンズで縮小して、シリコンウェハと呼ばれるシリコンの板に焼き付けます。電子回路のパターンを繰り返し何度もシリコンウェハに露光する際、位置がずれないように、ナノメートルレベルで位置合わせしています。

Outlook資源循環型社会の実現へ、挑み続ける