精機事業

投影レンズ加工

史上最も精密なマシーンである半導体露光装置、高精度かつ巨大なマシーンであるFPD露光装置において、光を操る心臓部が超高精度なレンズ部品と超精密なオプトメカから成り立っている投影レンズです。栃木ニコンは、半導体露光装置、及びFPD露光装置の投影レンズに求められる大口径かつ超高精度なレンズが供給できるニコングループで唯一の生産拠点として、i線、KrＦ、ArＦ全ての波長の半導体露光装置、スキャン系及び一括系全てのFPS露光装置の投影レンズの加工を担当しています。

投影レンズの加工は、超高精度な計測技術、超精密な加工技術、紫外光を操る最先端の薄膜技術から成り立っており、それぞれの技術もニコングループに受け継がれてきた伝統的な技能と最先端の技術を組み合わせることによって初めて実現できます。我々栃木ニコンは、半導体の微細化に合わせて新しい技術を取り込み、受け継いできた技能との融合を進めてきました。今後も更に新しい技術と伝統的な技能の融合を進め、世界№１の光学レンズ加工部門であり続けます。

投影レンズ組立調整

また、半導体露光装置の中にあって、ＩＣチップの原型となるシリコンウエハや、ＩＣ回路の原版であるレチクルなどの位置決めや露光する際の焦点距離を調整するために欠かせない、アライメント用対物レンズの組立調整も担当しています。アライメント用対物レンズは「ミニ投影レンズ」とも呼ばれ、ミクロン単位の誤差も許されない可動ユニットの精度を向上させるために重要な役割を果たしています。また、アライメント用対物レンズは、超高精度レンズ加工に欠かせない計測機器にも搭載され、世界№１の光学レンズ加工の一翼を担っています。