精機事業

投影レンズ加工
投影レンズ組立調整
露光装置ユニット・総合調整
精密機械加工

投影レンズ加工

史上最も精密なマシーンである半導体露光装置、高精度かつ巨大なマシーンであるFPD露光装置において、光を操る心臓部が超高精度なレンズ部品と超精密なオプトメカから成り立っている投影レンズです。栃木ニコンは、半導体露光装置、及びFPD露光装置の投影レンズに求められる大口径かつ超高精度なレンズが供給できるニコングループで唯一の生産拠点として、i線、KrＦ、ArＦ全ての波長の半導体露光装置、スキャン系及び一括系全てのFPD露光装置の投影レンズの加工を担当しています。

投影レンズの加工は、超高精度な計測技術、超精密な加工技術、紫外光を操る最先端の薄膜技術から成り立っており、それぞれの技術もニコングループに受け継がれてきた伝統的な技能と最先端の技術を組み合わせることによって初めて実現できます。我々栃木ニコンは、半導体の微細化に合わせて新しい技術を取り込み、受け継いできた技能との融合を進めてきました。今後も更に新しい技術と伝統的な技能の融合を進め、世界№１の光学レンズ加工部門であり続けます。

投影レンズ組立調整

また、栃木ニコンはニコングループの精機事業の生産拠点として、半導体、FPD露光装置の光を操る心臓部である投影レンズの組立調整も担当しています。
半導体露光装置では全てのi線波長の投影レンズの組立調整を担当しており、上記投影レンズの光学レンズ部品を最先端のオプトメカ機構と組み合わせてi線投影レンズを作り上げています。
FPD露光装置ではニコングループ唯一の一括系投影レンズ及びスキャン系の結像系組立調整部門として光学系の心臓部を供給しています。

また、半導体露光装置の中にあって、ＩＣチップの原型となるシリコンウエハや、ＩＣ回路の原版であるレチクルなどの位置決めや露光する際の焦点距離を調整するために欠かせない、アライメント用対物レンズの組立調整も担当しています。アライメント用対物レンズは「ミニ投影レンズ」とも呼ばれ、ミクロン単位の誤差も許されない可動ユニットの精度を向上させるために重要な役割を果たしています。また、アライメント用対物レンズは、超高精度レンズ加工に欠かせない計測機器にも搭載され、世界№１の光学レンズ加工の一翼を担っています。

露光装置ユニット・総合調整

微細技術の極致を行く露光装置、今、ナノの領域へ

高度情報社会にあって、LSIは欠かすことのできない基板デバイスのひとつです。
半導体デバイスは常に、大容量化・小型化・省電力化・高速化・低価格化を要求され続けています。
それを可能とするためにニコン露光装置は進化し続けています。
いわば、ニコンの最先端技術が情報社会のさらなる躍進を根底で担っているといっても過言ではありません。ニコングループでは総力をあげて露光装置の開発にあたっています。その中で栃木ニコンは、露光装置全機種を構成するユニットの設計から製造を担当しております。

開発、設計、製造からメンテナンスまで

栃木ニコンでは、昭和58年からニコン露光装置ユニットの生産を開始、長年培った生産能力・技術力により、ニコングループでの露光装置ユニット重要拠点として、装置の性能、信頼性を世界中のお客様に認めていただいております。
露光装置のユニットや周辺機器の開発・設計・製造からお客様先へ届けられた露光装置に対する技術サービスを行うために、3次元CADを利用した開発設計システム、情報管理システム、製造支援システムなどのIT技術を駆使したさまざまなシステムを構築し、万全の体制で臨んでおります。