世界初サブミクロン解像度のFPD露光装置「FX-6ASLH」の受注開始

解像度0.85µm（L/S）を実現

2026年10月26日 PRESS RELEASE/報道資料

株式会社ニコンは、FPD露光装置として世界で初めて^※1サブミクロンの解像度を実現する、解像度0.85µm^※2※3（L/S^※4）のFPD露光装置「FX-6ASLH」の受注を開始しました。本製品は、第6世代プレートサイズ^※5対応で、先端スマートデバイスに用いられる高精細有機ELおよび液晶パネル製造に最適な露光装置です。

※1 2026年10月26日時点で発表済みのFPD露光装置において。ニコン調べ

※2 1µm（マイクロメートル）は、100万分の1メートル（1000分の1mm）を表す

※3 解像度0.85µmは、位相差マスクおよび化学増幅型レジスト使用時

※4 Line and Spaceの略。配線の幅と、隣り合う配線同士の間隔のこと

※5 中小型パネル向け、1,500 mm × 1,850 mmサイズのガラス基板

発売概要

商品名	FPD露光装置「FX-6ASLH」
上市時期	2027年12月

開発の背景

先端スマートデバイスの更なる高精細化・高機能化を見据え、中小型パネル向け第6世代プレートサイズ対応のFPD露光装置には、従来を上回る1.0µm（L/S）未満の解像力が求められています。そこで、ニコンは世界初となる0.85µmの高解像度を実現するFPD露光装置を新たに開発しました。

主な特長

1. 解像度0.85µm（L/S）を実現

UV-LED光源を搭載した新規開発の照明光学系により、第6世代プレートサイズにおいて、0.85µm（L/S）および1.0µm（C/H^※6）の解像度を実現しました。サブミクロンの解像度は、FPD露光装置として世界で初めてです。歪みが発生しやすい大型基板においても、フォーカスをリアルタイムで補正しながら、均一な線幅でプレート全面に露光することが可能です。

※6 Contact Holeの略。上下の層を電気的に接続するための穴の大きさ

2. 重ね合わせ精度±0.18µm以下を達成

マルチレンズシステム^※7を構成する各レンズを、基板の状態に合わせて精密に制御するとともに、装置内の環境を適切に管理することで、第6プレートサイズ対応として最高水準^※8となる重ね合わせ精度±0.18µm以下を実現しました。これにより、歩留まりの高い量産プロセスの実現に貢献します。

※7 複数の投影レンズを並べて精密に制御することで1本の巨大レンズを用いたかのように露光するニコンの独自技術。1回の露光で広範囲のパターニングが可能となる

※8 2026年10月26日時点で発表済みのFPD露光装置において。ニコン調べ

3. UV-LED光源の採用で高解像度と高生産性を両立

照度の高いUV-LED光源の採用により、サブミクロンの解像度と高い生産性を両立し、優れたパフォーマンスを発揮します。

主な性能

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解像度	0.85 µm L/S^※3、1.0 µm C/H
光源	UV-LED i-line相当
投影倍率	1 : 1
重ね合わせ精度	≦± 0.18 µm
プレートサイズ	1,500 mm × 1,850 mm
タクトタイム	39秒 / プレート（条件）1,500 mm × 1,850 mm、4スキャン、i-line相当、30 mJ/cm²